MEMS微振镜
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颁布功夫：：2024-10-16
一种用于双轴光学扫描的高机能振镜。。。选取MEMS技术在硅衬底上形成镜面，，，通过电磁驱动实现水平扫描和垂直扫描。。。
利用场景
一种用于双轴光学扫描的高机能振镜。。。选取MEMS技术在硅衬底上形成镜面，，，通过电磁驱动实现水平扫描和垂直扫描。。。
产品技术特点
一种用于双轴光学扫描的高机能振镜。。。选取MEMS技术在硅衬底上形成镜面，，，通过电磁驱动实现水平扫描和垂直扫描。。。